標準マニュアルプローバー (Model8100) 装置仕様
本体部

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チャックステージサイズ ステージトラベル範囲 サブステージトラベル範囲 ウエハー保持方法 Zステージトラベル θ調整範囲 本体寸法
: 8インチ : X : 200mm  Y : 200mm :  X : 14mm    Y : 14mm :  バキューム吸着(400〜600mmHg) :  0〜5mm(3段階切替)+12mm :  ±5° :  幅   = 500mm :  奥行= 605mm :  高さ = 327mm(顕微鏡を含まず)